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颁布日期:2024-07-12 16:14:47浏览次数: 起源:Aistec经典案例分享|转塔式分选机

行业鼓起与瞻望


晶圆作为半导体造作的关键环节,高度集成和精确工艺使其成为现代电子产品的基础。半导体检测设备通过验证晶圆质量和机能,确保产品达到高尺度。而转塔式分选机通常用于半导体造作中的晶圆分选和处置过程。因而,塔式分选机与半导体检测亲昵有关,它们共同确保半导体产品在造作过程中的质量节造和最终产品的靠得住性。

中国半导体检测市场因电子行业的蓬勃发展和技术进取而急剧扩大,展示了巨大的市场潜力。随着新技术的引入和市场需要的增长,该市场在将来有望持续扩大,并为全球半导体检测行业带来新的鼓起与瞻望


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IC终测环节--转塔式分选机

转塔式分选机介绍


半导体检测从设计验证到最终测试都不成或缺,贯通整个半导体造作过程。半导体检测蕴含设计验证、工艺节造检测、晶圆测试(CP测试)以及制品测试(FT测试)

转塔式分选机重要利用于芯片设计检验阶段和制品终测(FT)环节,是终测环节沉要检测设备之一。转塔式分选机尤其合用于幼型片式半导体分立元件的打标、测试、分选和包装,是一种主转盘在中心,各个测试工位依照挨次均布在主电机周围的一种高快分选机,通常蕴含工位有12个和36个等多种型号


1、产品通过上料结构被送到主电机转盘上:

2、主电机转盘吸住芯片并通过动弹将产品送到下一个工位

3、上料工位工作;

4、电机转盘汲取新的一个产品。

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特点:

·多工位同时工作,削减出产周

·精度高,快率快

·装置单一,占空间幼

主转盘马达三身分


转塔式分选机是集成了多种工序于一体的高快检测设备,随着行业竞争日益强烈,对于设备的要求也越来越高,整机来看产能故障;,检测精度是评价塔式分选机沉要三身分,那么自动弹马达的选择对于转塔式分选机来说也是沉中之沉了,提升产能的同时又要保障检测良品率。目前行业中最快的设备每幼时能够实现50-60K甚至更高的芯片检测快率:


产能,故障;,检测精度体此刻自动弹马达上面别离是:

·产能=高快高加减快高刚性

·故障;=不变性

·检测精度=沉复定位精度

通例转塔式测试分选机技术要求

16-36个工位/旋转角度: 22.5°~10 °

单工位动弹功夫:16~24ms

转盘惯量:0.010~0.020 kg.m?

终场功夫:35~60ms

产能:40~60 k UPH

向下/向上Z轴的均匀移动功夫:6~20ms

bifa必发集团利用规划

主转盘直驱规划


主转盘动弹是高快分选机最沉要的活动之一,而主转盘驱动情况取决于拔取的主电机机能,bifa必发集团DD高快系列能足够满足转塔利用的此类活动曲线,极度合用于高精度的移动、快率响应要求高和对端跳要求较高的场所。

从活动节造的角度看,该过程在技术上极具挑战性:它必要转塔电机以极度高的快率运行并接受振动。搭载bifa必发集团为高快分选机的直驱马达定造的伺服驱动器,使快率不变性进一步提高。


高快DD马达.jpg

经典案例


18工位分选机,20°行程,能够在20ms内实现定位(含整按功夫2ms)。且该系列电机轴向和径向跳动精度较高,可满足3μm以内的跳动精度,集成炼精度光栅编码器,沉复精度可至±2arcsec.选取了低惯量设计,动弹惯量低至0.0041kg.m?,能够非?斓南煊炻适迪窒嘤χ噶钭魑


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